TPY-2自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀采用消光法自動(dòng)控制，自動(dòng)測(cè)量薄膜厚度和折射率，具有精度和靈敏度更高等特點(diǎn)。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定、波長(zhǎng)精度高。儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶(hù)的需要。

規(guī)格參數(shù)

測(cè)量范圍：薄膜厚度范圍：1nm-300nm；折射率范圍：1-10

測(cè)量厚度最小示值（nm）：≤1

偏振器方位角范圍：0°- 180°讀取分辨率為0.05°

偏振器步進(jìn)角：0.014°/步

測(cè)量膜厚（nm）：±1

折射率重復(fù)性精度：±0.01

度盤(pán)刻度：每格1度

儀器測(cè)量精度（nm）：±0.5（薄膜厚度在10-100nm時(shí)）

入射角調(diào)節(jié)范圍：20°～90°精度為0.05°

入射光波長(zhǎng)（nm）：632.8

光學(xué)中心高（mm）：80

允許樣品尺寸（mm）：φ10-φ140（或任意形狀），厚度≤15

外形尺寸（mm）：590*390*320

主機(jī)重量（kg）：28

配置表

	型號(hào)	名稱(chēng)	數(shù)量
基本配置	TPY-2	橢圓偏振測(cè)厚儀主機(jī)	1臺(tái)
	TPY-2	主機(jī)電控箱	1套
		二氧化硅膜樣片	1片
	TPY-2	橢圓偏振測(cè)厚儀專(zhuān)用軟件	1套
	需另配	計(jì)算機(jī)	1套

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